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磁悬浮分子泵

磁悬浮分子泵采用五自由度磁悬浮轴承，可实现泵体的任意角度安装，通用接口设计，满足多种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求。磁悬浮分子泵是干式超高真空核心设备，依靠电磁力让转子全程无物理接触悬浮高速旋转，完全摒弃润滑油 / 润滑脂，可获取洁净无油的高 / 超高真空，是半导体、精密科研、高端镀膜的核心真空部件。

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